1. 靜電電位測試:使用靜電電位測試儀器,測試工作臺表面的靜電電位是否符合標準要求。通常要求靜電電位在±1000V以內。 2. 接地測試:測試工作臺的接地是否良好,以確保靜電能夠有效地通過接地線排放。測試方法包括使用接地測試儀器或者萬用表測試接地電阻。 3. 靜電放電測試:使用靜電放電測試儀器,模擬靜電放電過程,測試工作臺表面的靜電放電時間和電荷量是否符合標準要求。通常要求靜電放電時間在0.5秒以內,電荷量在±5nC以內。 4. 清潔度測試:測試工作臺表面的清潔度是否符合標準要求,以確保靜電不會因為表面污染物的存在而產生影響。測試方法包括使用顯微鏡觀察表面污染物的情況,或者使用粘塵紙測試表面的粘附物。 以上測試可以通過專業的測試儀器進行,也可以通過自行制定的測試方法進行。測試結果應該記錄并保存,以便日后參考和比對。